原子熒光光譜分析法(AFS)是用一定強度的激發(fā)光源(線光源或連續(xù)光源)發(fā)射具有特征信號的光照射含有一定濃度的待測元素的原子蒸氣后，其中的自由原子被激發(fā)躍遷到高能態(tài)，然后去激發(fā)躍遷到某一較低能態(tài)，(常常是基態(tài))或去激發(fā)躍遷到不同于原來能態(tài)的另一較低能態(tài)而發(fā)射出各種特征原子熒光光譜，據(jù)此可以辨別元素的存在，并可以根據(jù)測量的熒光強度求得待測樣品中的含量。

　　原子熒光光譜分析法(AFS)和原子吸收光譜分析(AAS)有著不同又有相同相似之處：

　　1.兩者的原理有本質(zhì)上的不同，AFS是發(fā)射光譜分析，AAS則屬于吸收光譜分析。AFS測量的原子熒光強度和AAS測量的吸光度都與基態(tài)原子濃度成正比關系。

　　2.儀器結(jié)構(gòu)和操作手續(xù)非常相似。但是AAS的儀器裝置形式是光源-原子化器-單色器-檢測器是一直線，而AFS的光源與單色器不是在一直線上，而是成90º，且AFS必須是使用強光源。

　　3.檢出限方面，AFS比AAS好，精密度這兩種方法大致相同，相對標準偏差僅為1%。

　　4.干擾情況相似，化學干擾、物理干擾和光譜干擾對兩個方法的影響相似，但程度有不同，這與它們所采用的光源特性有關系。在AFS中光的散射干擾在一定程度上比AAS嚴重。同時AFS中的熒光猝滅效應對熒光強度的影響也是比較嚴重的，以致在測定復雜基體的試樣及高含量樣品時，尚有一定的困難。此外，散射光的干擾也是原子熒光分析中的一個麻煩問題。

　　5.與AAS比較，AFS還具有多元素同時測定，儀器結(jié)構(gòu)簡單(非色散原子熒光儀)，靈敏度高等優(yōu)點。

　　6.與AAS比較，AFS需要高濃度酸，標準需要預還原，實驗條件較嚴等。