1)系統誤差也叫可測誤差，一般包括儀器的本身波動；樣品的給定值和實際值存在一定的偏差(標準樣品的元素定值方法可能和實際檢測方法不一致，這樣檢測結果會有方法上的差異；同一種方法的檢測結果也存在一定的波動)；待測樣品和系列標樣之間存在成分的差異，可能導致在蒸發、解離過程中的誤差，如背景強度的差別和基體蒸發的差異等。
2)偶然誤差是一種無規律性的誤差，如試樣不均勻；檢測時周圍的溫濕度、電源電壓等的變化；樣品本身的成分差異等。
3)過失誤差是指分析人員工作中的操作失誤所得到的結果，可以避免。如制樣不準確，樣品前處理不符合要求，控樣和待測試樣存在制樣偏差，選擇了錯誤的分析程序等。
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